1. 產(chǎn)品概述

多角度激光橢偏儀 SE 400adv PV 在 HeNe 激光波長為 632.8 nm 時，在紋理單晶和多晶硅片上提供抗反射單膜的膜厚度和折射率?？筛鼡Q晶圓支架允許在多晶硅片和堿性紋理單晶硅片上進(jìn)行測量。

2. 主要功能與優(yōu)勢

粗糙表面分析

高靈敏度和超低噪聲檢測允許在非理想的、引起雜散光的表面上進(jìn)行測量，這些表面是紋理化單晶硅和多晶硅太陽能電池的典型特征。

非凡的準(zhǔn)確性

由于穩(wěn)定的激光光源、溫度穩(wěn)定的補(bǔ)償器設(shè)置和超低噪聲檢測器，SENTECH SE 400adv PV 激光橢偏儀的主要特點是具有非凡的高穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

精密涂層評估

SENTECH SE 400adv PV激光橢偏儀可以特別分析SiN涂層x、ITO、TiO2和SiO的薄鈍化層2和 Al2O3.可以在光滑的基板上分析雙層堆疊。

該工具是一款緊湊的儀器，可快速啟動和運行。SENTECH易于使用，以配方為導(dǎo)向的軟件包括一個全面的預(yù)定義應(yīng)用程序包，可滿足生產(chǎn)環(huán)境中的研發(fā)和質(zhì)量控制要求。