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12英寸槽式清洗設(shè)備

簡要描述:WE3102系列 12英寸槽式清洗設(shè)備,可配備 i-Clean 多藥液工藝槽,支持 DN unit, DIO3 等附屬功能。

  • 產(chǎn)品型號:WE3102系列
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2025-06-05
  • 訪  問  量: 638

詳細(xì)介紹

1. 產(chǎn)品概述

WE3102系列 12英寸槽式清洗設(shè)備,可配備 i-Clean 多藥液工藝槽,支持 DN unit, DIO3 等附屬功能。

2. 設(shè)備用途/原理

WE3102系列 12英寸槽式清洗設(shè)備,可配備 i-Clean 多藥液工藝槽,支持 DN unit, DIO3 等附屬功能軟件量身定制,具備快速更新能力,較高的溫度控制穩(wěn)定性,超高的補(bǔ)水精度,精準(zhǔn)的蝕刻速率控制,優(yōu)秀的干燥效果

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 12 英寸,適用材料 光阻、單晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金屬膜、金屬氧化物。適用工藝 爐清洗、刻蝕 / 拋光后清洗、光阻去除、金屬氧化物去除、氮化物去除、控?fù)跗厥?/span>。適用域 新興應(yīng)用、集成電路。

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